증착공정1 [반도체공정] 증착공정 (Deposition) 반도체를 만들 때에는 웨이퍼 위에 물질을 쌓는 방식을 사용합니다. 이때 물질을 쌓는 것을 '증착(Deposition)'한다고 표현합니다. 증착하는 방법은 크게 화학적 증착과 물리적 증착으로 나눌 수 있습니다. PVD (Physical Vapor Deposition) PVD는 물리적으로 증착하는 방식입니다. 보통 증착물질을 고진공 chamber에서 가열하여 증착하는데, Isotropic해서 step coverage가 낮습니다. E-beam Evaporation E-beam으로 증착물질을 가열하는 방식입니다. 가열하면 증착물질이 플라즈마 상태가 되는데요, 이때 DC 전압을 걸어서 증착합니다. PVD 중에서는 step coverage가 높은 편입니다. Sputtering chamber 내부에 Ar을 주입하고 .. 2023. 1. 27. 이전 1 다음