Oxidation1 [반도체공정] 산화공정 (Oxidation) 다음으로 알아 볼 공정은 산화공정 (Oxidation) 입니다. 산화는 크게 두 가지로 분류할 수 있습니다. 습식 산화 (Wet Oxidation) 습식 산화는 H2O나 wet O2를 사용합니다. 습식 산화의 가장 큰 장점은 빠르다는 것 입니다. 왜냐하면 H2O가 O2보다 가벼워서 diffusivity, solubility가 1000배 높기 때문입니다. 따라서 빠른 성장이 가능합니다. 대신, 그만큼 밀도가 낮고 품질이 떨어진다는 단점이 있죠 참고로 solubility가 1000배 높다고 1000배 빠른 것은 아닙니다! 건식 산화 (Dry Oxidation) 건식 산화는 dry O2를 사용합니다. 습식산화와 반대로 성장속도가 느립니다. 대신, 밀도가 높고 품질이 좋기 때문에 치밀한 구조가 필요한 곳에 사용.. 2023. 1. 14. 이전 1 다음