포토공정1 [반도체공정] 사진공정 (Photo Lithography) 이번에는 사진공정 (Photo lithography)에 대해 정리해보겠습니다. 반도체를 만들 때 물질을 증착하거나 식각을 해서 구조를 쌓아 올립니다. 이때 증착과 식각을 그냥 할 수는 없고 패턴대로 해줘야하는데 Photoresist가 그 틀의 역할을 한다고 이해하면 쉽습니다. Photoresist 먼저 Photoresist에 대해 알아보겠습니다. Positive PR UV를 쏘면 polymer 결합이 끊어지고, 결합이 끊어진 부분은 현상액에 의해 녹습니다. 이때 Positive PR은 사다리꼴 모양으로 식각됩니다. Negative PR UV를 쏘면 polymer가 뭉치게 됩니다. 따라서 현상액을 뿌리면 UV를 쏘지 않은 부분이 녹습니다. 이때 Negative PR은 역사다리꼴 모양으로 식각되어서 만약 M.. 2023. 1. 14. 이전 1 다음
